Q:テフロン硬質アルマイト処理したパーツを半導体製造
装置内部に使用したいと考えているのですが、高温に
なった場合にはクラックが入ってしまうものでしょうか？
また、クラックが入る温度の目安などがあればお教え頂
けないでしょうか。
よろしくお願い致します。

A:高温になりますとクラックが入る可能性が高いです。
一般的には100℃でクラックが発生いたします。

３５０℃近辺になりますと、テフロンが溶解します。
また、アルミ母材が変形（ひずみ）する温度に達します
と、硬質アルマイト処理が割れてきます。この変形も当
社の事例ですと３５０℃以上になります。

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